机械手臂工业机器人品牌

C0f3d30c8时间2024-05-03 21:35:46分类工业机械浏览69

导读：国内常见的几种机械手臂？伯努利机械手臂原理？机械手臂如何设置参数？国内常见的几种机械手臂？根据机械手臂运动形式的不同，机械手可以分为四种形式:直角坐标式、圆柱坐标式、极坐标式和多关节式，下面机械手厂家就简单的介绍一下这四种形式的机械手各有什么特点：1、直角坐标式机械手：手臂在直角坐标系的三个坐标轴方向作直线移动……...

国内常见的几种机械手臂？
伯努利机械手臂原理？
机械手臂如何设置参数？

国内常见的几种机械手臂？

根据机械手臂运动形式的不同，机械手可以分为四种形式:直角坐标式、圆柱坐标式、极坐标式和多关节式，下面机械手厂家就简单的介绍一下这四种形式的机械手各有什么特点：

1、直角坐标式机械手：手臂在直角坐标系的三个坐标轴方向作直线移动，即手臂的前后伸缩、上下升降和左右移动。这种坐标形式占据空间大而工作范围却相对较小、惯性大，它适用于工作位置成直线排列的情况。

2、圆柱坐标式机械手：手臂作前后伸缩、上下升降和在水平面内摆的动作。与直角坐标式相比，所占空间较小而工作范围较大，但由于机构结构的关系，高度方向上的最低位置受到限制，所以不能抓取地面上的物体，惯性也比较大。这是机械手中应用较广的一种坐标形式。

（图片来源网络，侵删）

3、极坐标式机械手：手臂作前后伸缩、上下俯仰和左右摆动的动作。其最大特点是以简单的机构得到较大的工作范围，并可抓取地面上的物体。其运动惯性较小，但手臂摆角的误差通过手臂会引起放大。

4、多关节式机械手：其手臂分为大臂和小臂两段，大小臂之间由肘关节连接，而大臂与立柱之间又连接成肩关节，再加上手腕与小臂之间的腕关节，多关节式机械手可以完成近乎人手那样的动作。多关节式机械手动作灵活，运动惯性小.能抓取紧靠机座的工件，并能绕过障碍物进行工作。多关节式机械手适应性广，在引人计算机控制后，它的动作控制既可由程序完成，又可通过记忆仿真.是机械手的发展方向。

伯努利机械手臂原理？

原理：

（图片来源网络，侵删）

伯努利机械手(吸盘)就是利用了伯努利原理的机械手，机械手的喷气口中喷出的气体(例如氮气等惰性气体)遇到圆盘的表面(例如上表面，当然也可以是下表面，以上表面为例陈述仅仅是示例性的)后，气体自圆盘上表面迅速扩散，使得圆盘上表面的气流速度大于下表面的气流速度，根据伯努利原理可知，此时圆盘下表面的气压大于圆盘上表面的气压，因而使圆盘被吸附在伯努利机械手上。

在晶圆加工过程中，伯努利机械手通过伯努利原理吸附晶圆，把晶圆放在具有真空吸附功能的真空卡盘上后，机械手放开晶圆。同时真空卡盘通过多孔真空吸附把晶圆吸附到真空卡盘上。工艺结束后真空卡盘停止真空吸附，伯努利机械手吸附晶圆，把晶圆从真空卡盘上取下，并带出工艺腔室。

伯努利机械手主要用于吸附薄片小于200um厚度的晶圆，晶圆薄片脆且易碎、翘度大。在伯努利机械手将晶圆放到真空卡盘上时，如果是伯努利机械手先将晶圆放到真空卡盘上，然后真空卡盘再开启真空吸附，那么晶圆容易出现滑片现象，放置的位置出现偏差，影响整张晶圆的工艺效果的均匀性。如果是真空卡盘先开启真空吸附，伯努利机械手再将晶圆放到真空卡盘上，容易导致晶圆的翘度增加，同时易导致晶圆破碎。