光机电气一体化控制实训装置的组成

1. 荷兰造的光刻机有没有用中国造配件？

荷兰造的光刻机有没有用中国造配件？

先说结论吧，a***l 99.99%配件都不是中国制造，在这个中国制造流行的世界确实少见，我修光刻机有些时间了，机器大部分地方都拆过，目前为止只见过一个made in China 的配件，是一个很小的光电传感器，品牌是***C，包括鼠标都是美国产的，至于大家说的电缆，接头，都是清一色德国，瑞士品牌，因为对信号传输稳定性，精度和抗干扰能力要求极高，一个信号接头在国内电子市场报价是800还没现货，总之所有通用配件都是市面上能买的最好的品牌，至于非通用件，就是A***L设计，找西门子，京瓷等各个行业的领军公司去单独开模制造，这个就更难有中国制造了，至于包装箱，也是用的叫HQ pack的一个欧洲公司的。

阿斯麦制造的光刻机中是否有国产的部件，外人一般是不会知道的，但是从阿斯麦公司敢不出售极紫外EUV光刻机给我们，就可以知道先进的极紫外EUV光刻机中就不会有国产的部件了。

借用阿斯麦公司总裁Peter Wennink的话:

因为我们是系统集成商，我们将数百家公司的技术整合在一起，为客户服务。这种机器有80000个零件，其中许多零件非常复杂。以蔡司公司为例，为我们生产镜头，各种反光镜和其他光学部件，世界上没有一家公司能模仿他们。此外，我们的机器完全装有传感器，一旦检测到有异常情况发生，Veldhoven总部就会响起警报。

个人认为，阿斯麦公司制造的最顶尖极紫外EUV光刻机8万个零件中，90%是不会有国产部件的，有的话也只是在无关紧要的部位，像壳体，基座什么的。像极紫外EUV光刻机中，光源，操作系统等25%的部件来自美国，镜头等来自德国，还有其他的部件分别来自日本，欧洲等国家，可以说是集世界精加工技术与一身，最终拿到阿斯麦公司进行组装。

而国内的精加工技术本来就落后于国际先进水平，高精度机床也依赖于进口，制造光刻机所需要的精密部件中有国产的可能性微乎其微，否则阿斯麦公司也不会敢与禁止出售光刻机给我国了。要知道，精加工技术并不是一招一夕就可以掌握的，以国内的大环境，肯好几代人专心研发技术的基本没有。像蔡司公司制造的镜头就需要经过一个家族好几代人的努力，才可以将镜头打磨的符合要求。而国内肯于静下心来做技术的人实在是太少了，几代人从事同一个职业的可能性微乎其微，这就造成了在精加工行业落后国际先进水平的结果。

而光刻机又是需要各种精密部件的产品，没有国内的零部件也显得很正常。好在我国已经可以制造出90纳米制程的光刻机了，这就基本上满足了国防，科研芯片的制造。只不过离商业化的7纳米制程的芯片还有不小的差距。所以说，个人觉得，阿斯麦公司制造的极紫外EUV光刻机中的重要零部件是不会有国产的，这也是米国敢与不让阿斯麦公司卖给我国先进光刻机的根本原因。如果说，国内可以提供极紫外EUV光刻机中一个重要的部件，那也不会是如今的局面。

荷兰AMSL公司生产的光刻机是有中国配件的。

中国大陆有赛微电子为A***L提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。

***有信邦电子为A***L提供线材，公准精密提供零组件，光罩股份和家登精密为A***L提供紫外光光照盒等。

虽然这些组件算重要部件，但是达不到核心的位置。其核心部件多为德美日等国家。

1.有是肯定有的，毕竟我国的基础制造工业放在那儿，国外的零部件制造成本完全没有优势，也没有相应的产业规模。

2.但肯定都不是核心的技术科技配件部分，一个可能是工业技术的原因，一个是你想造，人家也不让你造哇。欧美一直以来对于我国的技术封锁向来是不遗余力的，在我们没有取得相关领域的制造技术时，都是垄断然后天价卖给我们成品，光刻机，以前的盾构机，桥梁技术等等。然而一旦我国突破还要通过各种方式，不正当竞争等等打压我国的民族产业，比如前段时间我国固态硬盘技术突破后各种硬盘价格风波。

3.也别想着通过配件去制裁限制西方的光刻机这类技术，虽说荷兰可能相关的基础制造产业这些没有我们国家发达，但是一旦我国限制相关配件，只是让他们找其他国家替换而已，这就是非核心产业的弱势，随时可以辈替换掉，顶多费点钱和事。

所以啊，一方面在世界经济全球化面临重大区域保护贸易，以及各国科技人为壁垒的时候，我们不仅要不断完善国内的制造环境与工业体系，更应该大力发展高精尖的科技领域，只有自己掌握了尖端技术才能不受制于人。

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